计量学报2004(第25卷)第1期 - 中国计量测试学会

2024年05月19

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计量学报2004(第25卷)第1期

发布时间：2018/8/2 13:54:21

410.55 计量学
一种新型的非接触式掩膜板台阶高度测量仪= A Novel Apparatus to Measure the Step Height of the Mask by Means of Non-contact Method[刊：中]/ 林德教(清华大学精密仪器系, 北京100084)，柳忠尧，徐毅，殷纯永//计量学报. —2004，25（1）. —1～5
提出一种外差干涉与共焦显微技术融合用于微电子掩膜板台阶高度测量的方法，同时实现了高分辨率（亚纳米）与较大量程（5 μm以上）测量，构成了双频干涉共焦显微系统DICM。实验比较了3组物镜数值孔径NA、放大倍数β条件下的共焦显微系统轴向响应曲线，证实了纯共焦方法在轴向分辨率提高方面的局限性，但其光强变化足以区分干涉条纹的级次。将该系统应用于微电子掩模板台阶高度标准的测量，实验表明DICM的测量值与国际比对结果相符合，系统具有良好的复现性，极限偏差小于5 nm。图5表3参9
关键词：计量学；微电子掩模板；共焦显微术；外差测相；轴向响应
国家自然科学基金(50027002)和清华大学博士生创新基金联合资助

410.55 计量学
纳米样板的制备及其精度分析= Fabrication and Precision Analysis of Nano-scale Sample plate [刊：中]/ 景蔚萱(西安交通大学精密工程研究所，陕西西安 710049)，赵惠英，蒋庄德//计量学报. —2004，25（1）. —6～10
介绍了纳米样板的研究现状及制备工艺，特别对扫描探针显微镜（SPM）表面局域氧化反应工艺进行了详述；分析了原子力显微镜（AFM）探针诱导局域氧化工艺的原理及其影响参数，原理为高度局域化的电化学反应，影响参数包括探针上所施加的电压、扫描速度、探针曲率半径、相对湿度以及氧化物厚度等；用该方法分别制备了5条栅线和7条栅线的一维纳米结构样板，并对7条栅线的纳米结构样板的精度和不确定度影响因素进行了分析。图6表2参9
关键词：计量学；原子力显微镜；纳米样板；探针诱导阳极氧化；线宽；直线度；平行度
高等学校骨干教师资助计划项目；国家教育部博士点基金项目（1999069821）资助

410.55 计量学
三维表面微观形貌的二维功率谱表征=Characterization of 3D Surface Micro-topography by 2D Power Spectrum = [刊：中]/ 李成贵(北京航空航天大学自动化学院测控系，北京 100083) //计量学报. —2004，25（1）. —11～15
关键词：计量学；表面粗糙度；二维功率谱；表面微观形貌；  二维FFT

410.55 计量学
基于遗传算法的直线度误差的测量= A Calculating Method of Straightness Error Based on Genetic Algorithms[刊：中]/ 王伯平(太原重型机械学院，  山西太原  030024) ，孙大刚，孔令德，王晓慧//计量学报. —2004，25（1）. —16～18
关键词：计量学；遗传算法；直线度误差；最小包容区域

410.55 计量学
反演解析法提高CCD成像分辨率的噪声影响研究= Research on Noise Influence upon Inversion Analysis for Enhancement of CCD Resolution[刊：中]/ 王凌(浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江杭州 310027)，冯华君，徐之海，张平，李奇//计量学报. —2004，25（1）. —19～22
关键词：计量学；图像合成；噪声影响评价；反演解析；高分辨率

410.55 计量学
陷光探测器偏振响应特性的研究=Polarization Dependency Characterization of the Responsivity of Trap Detector[刊：中]/ 林延东(中国计量科学研究院，北京  100013)，姚和军，吕正//计量学报. —2004，25（1）. —23～26
关键词：计量学；辐射度；光探测器；陷光探测器；响应度；偏振

410.55 计量学
0℃～419.527℃标准铂电阻温度计大区比对的评述=Comments on Interlaboratory Comparison Around the Country about Standard Platinum Resistance Thermometer in the Range from 0℃ to 419.527℃[刊：中]/ 瞿咏梅(中国计量科学研究院，北京 100013)，金志军，邱萍//计量学报. —2004，25（1）. —27～30
关键词：计量学；大区比对；标准铂电阻温度计；评述

410.55 计量学
应用组合热电偶测量火焰温度的研究=Research of Furnace Gas Temperature Measurement with Multi-thermocouple[刊：中]/ 袁镇福(浙江大学热能工程研究所，浙江杭州 310027)，李彬彬，浦兴国，周劲松，周洁，岑可法，陈宇//计量学报. —2004，25（1）. —31～34
关键词：计量学；烟气温度；热电偶；动态补偿

410.55 计量学
基于蒸汽压方程下的管道煤气流量在线计量系统=On-line Measurement System for Gas Flux in the Pipeline Based on Vapour Pressure Equation[刊：中]/ 鄂加强(中南大学能源与动力工程学院，湖南长沙 410083)，时章明，刘春洋//计量学报. —2004，25（1）. —35～37
关键词：计量学；煤气流量；蒸汽压方程；管道；在线计量

410.55 计量学
脉动流场中旋进旋涡流量计流体振动特性的实验研究=An Experimental Study of the Dynamic Characteristics of Swirlmeter in Oscillatory Flow[刊：中]/ 彭杰纲(浙江大学流体传动及控制国家重点实验室，浙江杭州 310027)，傅新，陈鹰//计量学报. —2004，25（1）. —38～42
关键词：计量学；旋进旋涡流量计；流体脉动干扰；压电传感器；流体振动

410.55 计量学
基于电磁感应原理的多电极流量测量方法=Flow Measurement with Multielectrode Based on
Electromagnetic Induction Principle[刊：中]/ 张宏建(浙江大学工业控制技术国家重点实验室，浙江杭州 310027) ，管军，胡赤鹰//计量学报. —2004，25（1）. —43～46
关键词：计量学；流量测量；电磁感应；多电极；流量计

410.55 计量学
一种利用激光多普勒技术测量扭矩的原理研究=Research on the Principle of Torque Measurement Using Laser Doppler Technique=[刊：中]/ 董全林(燕山大学，河北秦皇岛 066004)，刘彬，杨海马//计量学报. —2004，25（1）. —47～49
关键词：计量学；扭矩测量；激光多普勒技术；相对转速；动力监测
河北省科技攻关资助项目(02212106D)

410.55 计量学
汽车碰撞试验速度的实时等误差测量和神经网络修正=The Equal Error Measurement and Neural Network Correction for Real Time Velocity in Car Crash Test[刊：中]/ 杜汇良(清华大学汽车安全与节能国家重点实验室，北京 100084)，张金换，黄世霖//计量学报. —2004，25（1）. —50～53
关键词：计量学；速度测量；汽车碰撞试验；实时等误差测量；神经网络

410.55 计量学
基于矢量合成的平衡机最小可达剩余不平衡度测试方法的研究=Research on Minimum Achievable Residual Unbalance[刊：中]/ 孙桥(中国计量科学研究院，北京 100013)，于梅//计量学报. —2004，25（1）. —54～57
关键词：计量学；最小可达剩余不平衡度；矢量分析；重径积

410.55 计量学
带有电极挂料的电容式物位传感器的数学模型分析=The Mathematic Model of Capacitance Level Sensor with Probe Attachment[刊：中]/ 陈晓竹(中国计量学院，浙江杭州 310034)，陈乐//计量学报. —2004，25（1）. —58～60
关键词：计量学；物位测量；等效电路；数学模型

410.55 计量学
新建立的衰减计量国家标准装置= A New Developed National Attenuation Standard [刊：中]/ 高秋来(中国计量科学研究院，北京 100013)，李勇，徐晖//计量学报. —2004，25（1）. —61～64
为了满足大衰减量值的溯源，研制成功了新的PAS-1型衰减测量接收机和新的国家标准装置。文中论述了该标准装置的原理及特点，详细分析了它的不确定度。试验表明：该标准装置频带可扩展到18 GHz，量程达100 dB，在100 dB量程的测量不确定度优于0.1 dB，置信概率为95%。图2表4参5
关键词：计量学；衰减测量；标准；微波；不确定度评定

410.55 计量学
有机/聚合物LED弱电流自动测试装置=The Auto-Measuring System for Weak Current of Organic/Polymer Light Emitting Diode[刊：中]/ 刘宝琦(吉林省计量科学研究院，吉林长春130022)，钱芸，年桂君，郭树旭//计量学报. —2004，25（1）. —65～69
关键词：计量学；电流测量；有机/聚合物LED；微弱电流；测量参数估计

410.55 计量学
N级微波四端网络的噪声参数计算=Noise Parameters Calculating for N-stage Microwave Two port[刊：中]/ 周求湛(吉林大学南岭校区通信学院，吉林长春， 130025)，王树勋，戴逸松//计量学报. —2004，25（1）. —70～75
关键词：计量学；微波四端网络；噪声模型；噪声参数；噪声分析；联接矩阵

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一种新的复合指纹匹配法=A New Combined Fingerprint Matching Method[刊：中]/王崇文(北京理工大学软件学院，北京　100081)，李见为，林国清//计量学报. —2004，25（1）. —76～80
关键词：计量学；指纹识别；细节特征；Gabor滤波器；细节编码；复合匹配；综合模板

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扩散管标准气体及其动态配气方法的研究=Study of Diffusion Tube Calibration Gases Preparation and Dynamic Volumetric Method[刊：中]/ 周泽义(国家标准物质研究中心，北京 100013)，梁建平，盖良京//计量学报. —2004，25（1）. —81～84
关键词：计量学；动态配气；扩散管；苯系物
国家质量技术监督检验检疫总局青年基金资助(01-02-101)

410.55 计量学
基于模糊神经网络的烟度检测系统的研=Study of Smoke Meter Based on Fuzzy Neural Network
= [刊：中]/ 赵立(天津大学天津内燃机研究所，天津 300072)，解世文，孙玉德//计量学报. —2004，25（1）. —85～89
关键词：计量学；烟度检测系统；模糊神经网络；模糊规则

410.55 计量学
电控喷油器喷油雾化特性测量装置的研究=A Measuring Apparatus for the Atomization Characteristics of Electric Control Injector[刊：中]/ 张振东(上海理工大学动力学院，上海 200093)，李过房，孙跃东，卢曦//计量学报. —2004，25（1）. —90～92
关键词：计量学；喷油器；雾化粒度；雾化角；测量装置
上海市教委基金资助(00JG05029)

410.55 计量学
气相色谱在线提取法检测茶叶中的农药残留= Determinaton of Pesticides Residue in Tea by GC with the On-line Extraction [刊：中]/ 谭和平(中国测试技术研究院，四川成都 610021) , 陈能武，黄苹//计量学报. —2004，25（1）. —93～96
根据电解质作用原理和盐析的原理，参考H.Steiwandter提出的在线提取方法，以常规方法为对照，在茶叶的有机氯农药残留检测中，采用超声波振荡提取、分离，并在同一三角瓶中进行液液分配，通过净化、浓缩最后上机检测。结果表明：采用该方法其最低检测浓度为0.044～0.617 ng/g，加样回收率在81.8%～98.0%之间，符合农药残留检测的国家标准，且比常规方法操作更简便、检出率更高，可克服常规方法的被测成分容易在多次转移中损失，从而影响检测准确性的缺点。图3表4参5
关键词：计量学；农药残留；检测；在线提取；茶叶
国家科技攻关计划基金资助(2001BA502B02)
文摘员：韩立德

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