《计量学报》2010(第31卷)第6期
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纳米尺度栅线结构的线边缘粗糙度分析和表征=Analysis and characterization of line edge roughness of nanostructures[刊,中]/赵凤霞1,蒋庄德2,景蔚萱2（1.郑州大学机械工程学院，郑州450001；2.西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室,西安710049）//计量学报—2010,31（6）.—481～485
为了对线边缘粗糙度（LER）和线宽粗糙度（LWR）进行分析和表征，采用电子束光刻工艺和感应耦合等离子体刻蚀工艺制备了两种纳米尺度栅线结构，用扫描电子显微镜(SEM)对所制备结构进行了检测和定性分析。基于离线SEM图像分析法提取了纳米栅线结构的线边缘轮廓。将所提取的线边缘轮廓视为随机信号，分别采用均方根偏差σ、偏斜度Sk、峭度Ku、高高相关函数和功率谱密度函数表征了LER/LWR的幅度特征、形状特征和空间特征，研究了LER/LWR各参数从光刻图形到刻蚀图形的变化，实现了LER/LWR的定量分析和表征。图8参7（韩立德）
关键词：计量学；纳米栅线结构；线边缘粗糙度；线宽粗糙度；扫描电子显微镜
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激光同轴度测量方法研究= The study of laser coaxiality measurement method[刊,中]/仓玉萍1,2，吴国俊1，焦国华1，何俊华1，陈良益1（1.中国科学院西安光学精密机械研究所,西安710119;2.中国科学院研究生院，北京100039）//计量学报—2010,31（6）.—486～489
研发了一种激光同轴度测量系统。建立了一套数学模型，分析了3种不对中情况下的轴-轴同轴度测量方法，推导了测量方程，实现了只需在小角度范围内旋转即可得出轴-轴同轴度的平偏量和角偏量。并提出了孔-孔同轴度的测量方法，实现了用一套设备可以同时测量轴-轴、孔-孔同轴度。图8参10（韩立德）
关键词：计量学；同轴度；光学测量；安装误差
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基于人工免疫算法的轴线直线度误差评定=Evaluation method for axis straightness error based on artificial immune optimization algorithm[刊,中]/张玉梅1, 2，左春柽2，刘岩3，李春芳2（1.赤峰学院职教部，赤峰024000；2.吉林大学机械科学与工程学院，长春130025；3.山东工商学院信息与电子工程学院，烟台264005）//计量学报—2010,31（6）.—490～493
提出了一种满足最小区域条件的轴线直线度误差评定方法——人工免疫优化算法。介绍了该算法的原理, 根据最小条件建立了轴线直线度误差评定的数学模型及优化目标函数, 给出了该算法的具体实现方法。实例计算结果表明，人工免疫优化算法评定精度优于最小二乘法，能够全局寻优，而且易于实现。图2参9（韩立德）
关键词：计量学；直线度；误差评定；人工免疫优化算法
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基于非匀速模型的早期火灾源点定位及强度估计=Source localization and intensity estimation of early fire based on non-uniform speed model[刊,中]/庄哲民，张新峰，李卡麟，李芬兰（汕头大学电子工程系，汕头515063）//计量学报—2010,31（6）.—499～503
针对传统匀速模型早期火灾源点定位方法的不足，提出了一种非匀速早期火灾顶棚射流传播距离与时间关系的扩散模型。根据传感器探测信号的延时差，逆向利用该非匀速模型，并结合微粒群算法进行求解，同时实现了对早期火灾源点的准确定位和强度的定量估计。通过应用烟气传感节点所组成的无线传感网络验证了该算法。图3表1参7（韩立德）
关键词：计量学；非匀速模型；火灾源点定位；火灾强度估计；微粒群算法；无线传感网络
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涡街流量传感器信号的幅值和频率特征=Features of amplitude and frequency of vortex flow sensor signal[刊,中]/ 徐科军1,2,罗清林1,朱永强1,刘三山1,朱志海1（1.合肥工业大学电气与自动化工程学院，合肥230009;2.工业自动化安徽省工业技术研究中心，合肥230009）//计量学报—2010,31（6）.—504～508
基于实验数据建立了涡街流量传感器输出信号的数学模型，提出了用混合高斯分布来描述涡街流量传感器信号幅值的自然衰减现象，采用频率调制信号来表示涡街流量信号的宽带特征，通过频谱分析确定机械振动噪声信号为窄带信号。图5参8（韩立德）
关键词：计量学；涡街流量计；信号模型；频率调制；自然衰减；混合高斯分布
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用模型实验方法研究三峡电站流量计准确度=Study on the accuracy of flowmeter at three gorge power station by model experiment method[刊,中]/孟涛1，王池1，陈海滨2，庄涛3，胡鹤鸣1（1.中国计量科学研究院，北京100013；2.云南省计量测试技术研究院，昆明650041；3.辽宁省计量科学研究院，沈阳110004）//计量学报—2010,31（6）.—509～512
利用水力学相似原理，采用模型实验的方法对安装于三峡电站的超声流量计进行准确度的评估。按照三峡电站的引水钢管结构以1:24:8的比例设计并加工了500 mm口径的流道系统模型和模型流量计。通过对2组模型实验的结果及不确定度分析，发现由于流道形状特殊对流量计处流场产生影响，使得流量计会产生约0.3%的正向偏差，但流量计准确度水平仍能优于±1%，满足电站进行水轮机效率测量的要求。图4表2参5（韩立德）
关键词：计量学；大口径流量计；校准；模型实验；超声流量计
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低频振动台激励系统负反馈控制的研究与应用=Study on feedback control for the secondary standard of national low-frequency vibration exciter[刊,中]/胡红波，于梅（中国计量科学研究院，北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—513～516
针对低频大位移振动激励系统非线性等因素造成输出波形失真度大的问题，对中国计量科学研究院低频垂直向副基准装置分频段采用位移、速度和加速度负反馈控制技术，实现激励系统的闭环控制，改善了低频标准振动台的动态特性，提高了系统抑制外界干扰的能力。给出的开环与闭环状态下传感器的校准数据，证明负反馈技术的应用降低了装置的测量不确定度。图7表2参7（韩立德）
关键词：计量学；低频标准振动台；失真度；负反馈控制
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三轴向振动加速度校准系统的研究=Research on the three-dimensional vibration calibration system[刊,中]/于梅（中国计量科学研究院，北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—517～519
从振动环境的振源多向性和加速度矢量的基本理论入手，通过分析单向和三向加速度计的灵敏度矩阵形式，提出三维振动激励系统可较为真实地模拟被测传感器的典型应用环境。因此只有使用三维振动加速度校准系统才能实现三向加速度计灵敏度和单向加速度计横向灵敏度的精确校准。探讨了研制三维振动校准激励系统的技术关键。图1参5（韩立德）
关键词：计量学；三向加速度计；三维校准振动台；横向灵敏度；灵敏度矩阵
E-mail: yum@nim.ac.cn
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自动容量比较法卧式金属罐容量现场检测研究=Study on automatic volumetric comparison method for horizontal cylindrical tank calibration on spot[刊,中]/郭立功，刘子勇，佟林，王金涛（中国计量科学研究院，北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—520～524
基于容量比较法和自动控制原理，研究了现场检测卧式金属罐容量的方法，建立了一套容量比较法检测系统，提出了检测过程的模糊控制与数据处理算法。使用柴油为检定介质对D=2.5 m卧式罐进行检测，其不确定度为：液位h≥0.30D，Urel≤0.41%（k=2）；液位h≥0.42D，Urel≤0.30%（k=2）。图3表5参10（韩立德）
关键词：计量学；卧式金属罐；容量比较法；容量表；不确定度
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基于FPGA的重力仪干涉条纹和时间间隔计数=Using FPGA to measure the interference fringe number and time interval in a gravimeter system-on-a-programmable-chip[刊,中]/吴书清1，葛春雨2，刘达伦1，徐进义1（1.中国计量科学研究院电学量子所，北京100013；2.清华大学电子工程系，北京100084）//计量学报—2010,31（6）.—530～532
介绍了用现场可编程门阵列在绝对重力仪中实现落体下落距离和相对应的时间间隔测量的原理及方法。阐述了基于Altera公司DE2开发板和Nios II处理器为核心而构建的可编程片上系统以及“数字移相法”的应用。最后分析了该测量系统在时间间隔测量运用的不确定度估算。图4表1参6（韩立德）
关键词：计量学；绝对重力仪；可编程门阵列；可编程片上系统；数字移相；时间间隔；计数
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基于空间傅里叶变换的平面近场声全息中信噪比估计方法研究=Research on the estimate of the signal-to-noise ratio in the planar nearfield acoustic holography based on the spatial fourier transform[刊,中]/辛雨，张永斌，毕传兴，陈心昭（合肥工业大学噪声振动工程研究所，合肥230009）//计量学报—2010,31（6）.—537～542
在近场声全息技术中，信噪比是一个非常重要的参数，但无法直接测量。为解决此问题，给出了基于空间傅里叶变换的平面近场声全息中两种可靠的信噪比估计方法：能量法信噪比估计和幅值法信噪比估计；其中能量法信噪比估计更精确，而幅值法信噪比估计更简单。采用两种方法进行信噪比估计，都可以得到较真实的信噪比结果。数值仿真和实验结果验证了两种方法的正确性和适用性。图6参15（韩立德）
关键词：计量学；平面近场声全息；信噪比；重建误差
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用于量子化霍尔电阻标准的GaAs/AlGaAs异质结二维电子气结构=GaAs-AlGaAs heterostructures for quantized hall resistance standard by the NIM[刊,中]/钟源1,贺青1,钟青1,鲁云峰1,赵建亭1,王文新2,田海涛2（1.中国计量科学研究院电学与量子所，北京100013；2. 中国科学院物理研究所表面物理国家重点实验室，北京100190）//计量学报—2010,31（6）.—543～546
设计并利用分子束外延生长了GaAs/AlGaAs异质结结构，以制作应用于中国电阻基准的量子化霍尔电阻器件。报道了这种制作量子化霍尔电阻器件的步骤及结果，讨论了利用77 K下二维电子气的载流子浓度和迁移率数据初步判断其是否适合用于量子化霍尔电阻标准的方法和该方法的局限性。图3表3参7（韩立德）
关键词：计量学；量子化霍尔电阻标准；GaAs/AlGaAs异质结；二维电子气
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截面变化对钢丝束标样电磁特性的影响=Influence of change of cross-section on rod bundle specimen[刊,中]/陈厚桂，江政，陈远（武汉大学电气工程学院,武汉430072）//计量学报—2010,31（6）.—547～550
标样是钢丝绳电磁探伤方法评估中的关键部分，其配置是否合理直接关系到评估的有效性和可靠性。ASTM E1571推荐使用钢丝束标样替代钢丝绳标样，但是该标准只给出了一般性的规定，对于钢丝在钢丝束中如何配置缺乏具体的描述。基于有限元方法建立钢丝束的电磁探伤模型，研究截面变化对平行钢丝束标样电磁检测特性的影响。首先改变钢丝在钢丝束中的分布，分析钢丝分布对磁场的影响；其次改变钢管壁厚，分析壁厚变化对磁场的影响。研究表明，钢丝分布和钢管的壁厚变化对钢丝束的磁场均会产生影响，在选择和配置钢丝束标样时需要考虑钢丝分布和钢管壁厚变化。图8表2参5（韩立德）
关键词：计量学；电磁探伤；标样；有限元；钢丝分布；壁厚变化
E-mail: hougui_ch@163.com
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数字存储示波器波形捕获率测试方法=The method of testing waveform capture rate for DSO[刊,中]/叶芃，曾浩，向川云，蒋俊，王厚军（电子科技大学自动化工程学院，成都610054）//计量学报—2010,31（6）.—551～554
通过描述数字存储示波器的波形捕获率与“死区时间”的关系，利用随机过程理论对波形捕获率的量化方法进行分析，提出了一种通过外特性定量测试示波器的波形捕获率的方法，并对常见的示波器捕获率进行了测试验证。图4表1参7（韩立德）
关键词：计量学；数字存储示波器； 波形捕获率；死区时间；双脉冲法
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蒙特卡罗模拟计算中能X射线自由空气电离室电子损失修正因子=Correction factor of electron loss for medium-energy X-ray free air ionization chamber calculated with the monte carlo method[刊,中]/吴金杰,孙吉宁,杨元第，张彦立（中国计量科学研究院，北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—555～557
采用蒙特卡罗模拟方法计算了中能X射线自由空气电离室在入射不同能量光子时的电子损失修正因子。根据此结果，获得中能X射线基准电离室在5个辐射束规范下的电子损失修正因子，为中能X射线空气比释动能的绝对测量和国际比对提供了重要数据。图2表2参7（韩立德）
关键词：计量学；自由空气电离室；绝对测量；电子损失；蒙特卡罗模拟
E-mail: wujj@nim.ac.cn
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钡溶液标准物质的研制=Development of barium solution CRM[刊,中]/李云巧，田光慧，史乃捷，卢晓华（中国计量科学研究院，北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—562～566
选择氯化钡为原料，经纯度分析后，配制成目标浓度为20 mg/mL的钡溶液标准物质。采用BaSO4重量基准法与仪器分析相结合的方法进行均匀性检验、稳定性监测与定值。对影响测量结果的因素进行了系统研究，将各影响量降至最低水平，利用仪器分析法准确测定各影响因素的量值，并逐一进行修正；全面进行了测量不确定度评定。研制的钡溶液标准物质不确定度为0.08%（k=2），稳定性达1年。图2表7参7（韩立德）
关键词：计量学；钡；标准物质；硫酸钡重量法；不确定度
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太赫兹波双路比较法葡萄糖溶液浓度测量研究=Study on the concentration measurement of glucose solution using terahertz two-path transmission method[刊,中]/汪伟，施卫博，马无锡，李璟，李向军，洪治（中国计量学院太赫兹技术与应用研究所，杭州310018）//计量学报—2010,31（6）.—567～570
利用返波振荡器作为太赫兹波辐射源搭建了双路比较透射式葡萄糖水溶液浓度测量系统。测量了D-葡萄糖、D-(+)-葡萄糖、-D-葡萄糖3种葡萄糖溶液，实验结果表明该测量系统能够有效地克服太赫兹辐射源功率波动对测量的影响，提高测量精度。该系统结构简单、测量快速、准确，可推广应用于其它溶液或气态、固态物质的测量。图3表2参11（韩立德）
关键词：计量学；浓度测量；太赫兹波；葡萄糖溶液；透射测量
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不确定度评定中多输入量整体相关性判定标准研究及应用=Research and application of overall correlation criterion of multiple variables in evaluation of uncertainty[刊,中]/崔伟群，杭晨哲，周雪芬，滕俊恒（中国计量科学研究院,北京100013）//计量学报—2010,31（6）.—571～574
从多输入量的整体角度出发，导出了不确定度评定中多个输入量的整体相关性判定标准和计算方法，为同一测量系统下对比多种不确定度评定方法的优劣提供了量化的判定依据，同时给出了一种计算不确定度的修正方法。表4参5（韩立德）
关键词：计量学；不确定度；向量等价；列项平均值的平方和；整体相关系数；判定标准
E-mail: Cuiwq@nim.ac.cn
文摘员：韩立德
主编签名：